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一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
SuperView W3光學(xué)3D輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),,從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
SuperView W3光學(xué)3D輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車(chē)零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高??蒲性核阮I(lǐng)域中,。可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D,、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),。
二、產(chǎn)品功能
樣件測(cè)量能力:滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類(lèi)型樣件表面的測(cè)量,;
自動(dòng)測(cè)量功能:自動(dòng)單區(qū)域測(cè)量功能、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,、自動(dòng)拼接測(cè)量功能;
編程測(cè)量功能:可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,,結(jié)合自動(dòng)測(cè)量功能,,實(shí)現(xiàn)一鍵測(cè)量;
數(shù)據(jù)處理功能:提供位置調(diào)整,、去噪,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
數(shù)據(jù)分析功能:提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,。其中粗糙度依據(jù)ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度,;幾何輪廓分析包括臺(tái)階高,、距離、角度,、曲率等特征測(cè)量和直線度,、圓度形位公差評(píng)定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等,;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能,;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
批量分析功能:可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,,針對(duì)同類(lèi)型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析,;
三、半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)m?xiàng)產(chǎn)品功能
同步支持6,、8,、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測(cè)量,并可一鍵實(shí)現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤(pán)的自動(dòng)切換以適配不同尺寸晶圓,;
具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動(dòng)測(cè)量功能,,能夠一鍵測(cè)量數(shù)十個(gè)小區(qū)域的粗糙度求取均值;
具備劃片工藝中激光鐳射開(kāi)槽后的槽道深寬輪廓數(shù)據(jù)測(cè)量功能,,能夠一鍵實(shí)現(xiàn)槽道深寬相關(guān)的面和多條剖面線的數(shù)據(jù)測(cè)量與分析,;
具備晶圓制造工藝中鍍膜臺(tái)階高度的測(cè)量,,覆蓋從1nm~1mm的測(cè)量范圍,,實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量;
四,、應(yīng)用領(lǐng)域
對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。
五,、性能特色
1,、復(fù)合型掃描算法
結(jié)合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優(yōu)點(diǎn)的復(fù)合型掃描重建算法,,能夠適配從超
光滑到粗糙,、光滑弧面等所有類(lèi)型樣品;
2,、雙重防撞保護(hù)
1)軟件ZSTOP防撞保護(hù),設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位,,不再下移且伴有報(bào)警聲;
2)Z向防撞傳感器,,當(dāng)鏡頭碰到樣件表面,,鏡頭即回縮,進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),,不再下移,;
3、地面振動(dòng)&聲波振動(dòng)隔振防護(hù)
氣浮隔振設(shè)計(jì)&吸音材質(zhì)隔離設(shè)計(jì),,確保儀器在嘈雜的車(chē)間中能夠有效濾除地面和聲波的振動(dòng)干擾,,正常工作;
4,、環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)
提供環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)模塊,,能夠定量檢測(cè)出當(dāng)前環(huán)境噪聲對(duì)儀器的干擾,對(duì)儀器的調(diào)試和使用提供數(shù)據(jù)依據(jù),;
5,、精密操縱手柄
集成X、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作,。
六、技術(shù)指標(biāo)
1.技術(shù)規(guī)格表
光源 | 白光LED | ||
影像系統(tǒng) | 1024×1024 | ||
干涉物鏡 | 10×,,(2.5×,,5×, 20×,,50×,,100×) | ||
光學(xué)ZOOM | 0.5×(0.75×,1×) | ||
標(biāo)準(zhǔn)視場(chǎng) | 0.98×0.98㎜ | ||
物鏡塔臺(tái) | 3孔手動(dòng)(可選5孔電動(dòng)) | ||
XY位移平臺(tái) | 尺寸 | 450×450㎜ | |
移動(dòng)范圍 | 300×300㎜ | ||
負(fù)載 | 10kg | ||
控制方式 | 電動(dòng) | ||
水平調(diào)整 | 鏡頭傾斜,,電動(dòng) | ||
Z軸 聚焦 | 行程 | 100㎜ | |
控制方式 | 電動(dòng) | ||
Z向掃描范圍 | 10 ㎜ | ||
Z向分辨率 | 0.1nm | ||
可測(cè)樣品反射率 | 0.05%~100% | ||
粗糙度RMS重復(fù)性 | 0.005nm | ||
臺(tái)階測(cè)量 | 準(zhǔn)確度 | 重復(fù)性 | |
0.3% | 0.08% 1σ |
注:粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)量Sa為0.2nm硅晶片Sq參數(shù)獲得,;
臺(tái)階高性能參數(shù)為依據(jù)ISO 5436-1:2000標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)量4.7µm臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。
若非實(shí)驗(yàn)室環(huán)境,,準(zhǔn)確度和重復(fù)性指標(biāo)需根據(jù)環(huán)境噪聲等級(jí)相應(yīng)下調(diào),。
2.儀器尺寸(長(zhǎng)×寬×高): 主機(jī):1000×900×1500㎜;
3.儀器主機(jī)重量:小于500Kg,;
4.使用環(huán)境:無(wú)強(qiáng)磁場(chǎng),,無(wú)腐蝕氣體
工作溫度:15℃ ~30℃,溫度梯度 < 2℃/60分鐘
相對(duì)濕度:5%-95%RH,,無(wú)凝露
環(huán)境振動(dòng):VC-C或更優(yōu)
隔振氣源:0.8Mpa穩(wěn)壓清潔氣源,,除油、除水,,氣管直徑6㎜(可無(wú))
七,、產(chǎn)品配置清單
標(biāo)準(zhǔn)配置:
SuperView W3主機(jī):龍門(mén)架構(gòu)造、懸臂式測(cè)頭,;
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)Zoom:0.5×
干涉物鏡:10×
XY位移載物臺(tái):自動(dòng)位移臺(tái)
DELL品牌計(jì)算機(jī)
4.7μm Z向校準(zhǔn)臺(tái)階塊
操縱手柄
中圖W1光學(xué)3D表面輪廓儀軟件
自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量,、自動(dòng)拼接測(cè)量功能模塊
電氣控制柜
儀器配件箱
產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)
產(chǎn)品合格證、保修卡
可選配置:
干涉物鏡:2.5×,、5×,、20×、50×,、100×
光學(xué)zoom:0.75 ×,、1×;
同步兼容式真空吸盤(pán),,兼容12 inch及以下所有規(guī)格晶圓樣品,;
八、交貨與驗(yàn)收
1,、交貨
1)交貨期:合同生效后40個(gè)工作日內(nèi),。
2)交貨地點(diǎn):免費(fèi)快遞到需方的交貨地點(diǎn)。
2、安裝與培訓(xùn)
1)我公司負(fù)責(zé)在用戶現(xiàn)場(chǎng)對(duì)設(shè)備行進(jìn)安裝和調(diào)試,;
2)在設(shè)備安裝調(diào)試時(shí)對(duì)買(mǎi)方技術(shù)人員進(jìn)行理論,、實(shí)際操作及維修等的培訓(xùn),使用戶技術(shù)人員掌握設(shè)備操作,,能熟練使用設(shè)備進(jìn)行檢定工作,,保證設(shè)備正常運(yùn)行并能排除設(shè)備的一般故障和特殊保養(yǎng)。
3,、驗(yàn)收
1)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn):以合同及技術(shù)協(xié)議為準(zhǔn),。
2)驗(yàn)收項(xiàng)目:核對(duì)該設(shè)備的主機(jī)及附件、工具的數(shù)量及規(guī)格應(yīng)符合合同技術(shù)協(xié)議及設(shè)備使用說(shuō)明書(shū)的要求,;核對(duì)該設(shè)備的使用說(shuō)明書(shū)等各類(lèi)資料是否齊全,,是否滿足技術(shù)協(xié)議要求。
3)在合同驗(yàn)收和合同執(zhí)行過(guò)程中,,如有任何影響設(shè)備的性能的漏項(xiàng)和短缺,,如設(shè)備附件、技術(shù)資料,、使用手冊(cè),、用工具,備品備件,、服務(wù)及技術(shù)指導(dǎo)等,,我公司負(fù)責(zé)免費(fèi)將漏項(xiàng)和短缺補(bǔ)齊。
4)驗(yàn)收合格后,,雙方簽定《產(chǎn)品驗(yàn)收?qǐng)?bào)告》,。
5)產(chǎn)品外觀以實(shí)物為準(zhǔn)。
九,、售后服務(wù)
1,、設(shè)備質(zhì)保期
1)驗(yàn)收合格雙方簽定《產(chǎn)品驗(yàn)收?qǐng)?bào)告》后12個(gè)月內(nèi);
2)在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生的故障,,其故障部分質(zhì)保期自修復(fù)之日起順延,。
2、售后服務(wù)內(nèi)容
1)質(zhì)保期內(nèi):實(shí)行“三包",,用戶所購(gòu)設(shè)備各部件發(fā)生非人為故障,,我司免費(fèi)更換同種品牌不低于原價(jià)位、規(guī)格,、型號(hào)的部件,。
2)質(zhì)保期后:我公司提供持續(xù)的優(yōu)惠服務(wù)和技術(shù)支持,設(shè)備出現(xiàn)故障需要修理時(shí),,所換零件按成本價(jià)收取,。軟件隨國(guó)家規(guī)程變更免費(fèi)升級(jí),,硬件優(yōu)惠升級(jí)。
3)排故響應(yīng)時(shí)間:我司在接到報(bào)障信息后,,2小時(shí)內(nèi)回應(yīng),,我司通過(guò)電話、郵件的方式指導(dǎo)買(mǎi)方排除故障,;若故障仍不能排除,,將在72小時(shí)內(nèi)上門(mén)調(diào)試維修排故或用戶將儀器發(fā)回本公司維修。