一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SuperView W3光學(xué)3D輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

SuperView W3光學(xué)3D輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車(chē)零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高?？蒲性核阮I(lǐng)域中,。可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D,、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),。

二、產(chǎn)品功能

1. 樣件測(cè)量能力：滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類(lèi)型樣件表面的測(cè)量,；

2. 自動(dòng)測(cè)量功能：自動(dòng)單區(qū)域測(cè)量功能、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,、自動(dòng)拼接測(cè)量功能；

3. 編程測(cè)量功能：可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,，結(jié)合自動(dòng)測(cè)量功能,，實(shí)現(xiàn)一鍵測(cè)量；

4. 數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整,、去噪,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5. 數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,。其中粗糙度依據(jù)ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度,；幾何輪廓分析包括臺(tái)階高,、距離、角度,、曲率等特征測(cè)量和直線度,、圓度形位公差評(píng)定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等,；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能,；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

6. 批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,，針對(duì)同類(lèi)型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析,；

三、半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)ｍ?xiàng)產(chǎn)品功能

1. 同步支持6,、8,、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測(cè)量，并可一鍵實(shí)現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤(pán)的自動(dòng)切換以適配不同尺寸晶圓,；

2. 具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動(dòng)測(cè)量功能,，能夠一鍵測(cè)量數(shù)十個(gè)小區(qū)域的粗糙度求取均值；

3. 具備劃片工藝中激光鐳射開(kāi)槽后的槽道深寬輪廓數(shù)據(jù)測(cè)量功能,，能夠一鍵實(shí)現(xiàn)槽道深寬相關(guān)的面和多條剖面線的數(shù)據(jù)測(cè)量與分析,；

4. 具備晶圓制造工藝中鍍膜臺(tái)階高度的測(cè)量,，覆蓋從1nm~1mm的測(cè)量范圍,，實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量；

四,、應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

五,、性能特色

1,、復(fù)合型掃描算法

結(jié)合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優(yōu)點(diǎn)的復(fù)合型掃描重建算法,，能夠適配從超

光滑到粗糙,、光滑弧面等所有類(lèi)型樣品；

2,、雙重防撞保護(hù)

1）軟件ZSTOP防撞保護(hù)，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位,，不再下移且伴有報(bào)警聲；

2）Z向防撞傳感器,，當(dāng)鏡頭碰到樣件表面,，鏡頭即回縮，進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，不再下移,；

3、地面振動(dòng)&聲波振動(dòng)隔振防護(hù)

氣浮隔振設(shè)計(jì)&吸音材質(zhì)隔離設(shè)計(jì),，確保儀器在嘈雜的車(chē)間中能夠有效濾除地面和聲波的振動(dòng)干擾,，正常工作；

4,、環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)

提供環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)模塊,，能夠定量檢測(cè)出當(dāng)前環(huán)境噪聲對(duì)儀器的干擾，對(duì)儀器的調(diào)試和使用提供數(shù)據(jù)依據(jù),；

5,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作,。

六、技術(shù)指標(biāo)

1.技術(shù)規(guī)格表

注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)量Sa為0.2nm硅晶片Sq參數(shù)獲得,；

臺(tái)階高性能參數(shù)為依據(jù)ISO 5436-1:2000標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)量4.7µm臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。

若非實(shí)驗(yàn)室環(huán)境,，準(zhǔn)確度和重復(fù)性指標(biāo)需根據(jù)環(huán)境噪聲等級(jí)相應(yīng)下調(diào),。

2．儀器尺寸（長(zhǎng)×寬×高）： 主機(jī)：1000×900×1500㎜；

3．儀器主機(jī)重量：小于500Kg,；

4．使用環(huán)境：無(wú)強(qiáng)磁場(chǎng),，無(wú)腐蝕氣體

工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 2℃/60分鐘

相對(duì)濕度：5%-95%RH,，無(wú)凝露

環(huán)境振動(dòng)：VC-C或更優(yōu)

隔振氣源：0.8Mpa穩(wěn)壓清潔氣源,，除油、除水,，氣管直徑6㎜（可無(wú)）

七,、產(chǎn)品配置清單

標(biāo)準(zhǔn)配置：

1. SuperView W3主機(jī)：龍門(mén)架構(gòu)造、懸臂式測(cè)頭,；

2. 影像系統(tǒng)：1024×1024

3. 光學(xué)Zoom：0.5×

4. 干涉物鏡：10×

5. XY位移載物臺(tái)：自動(dòng)位移臺(tái)

6. DELL品牌計(jì)算機(jī)

7. 4.7μm  Z向校準(zhǔn)臺(tái)階塊

8. 操縱手柄

9. 中圖W1光學(xué)3D表面輪廓儀軟件

10. 自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量,、自動(dòng)拼接測(cè)量功能模塊

11. 電氣控制柜

12. 儀器配件箱

13. 產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)

14. 產(chǎn)品合格證、保修卡

可選配置：

1. 干涉物鏡：2.5×,、5×,、20×、50×,、100×

2. 光學(xué)zoom：0.75 ×,、1×；

3. 同步兼容式真空吸盤(pán),，兼容12 inch及以下所有規(guī)格晶圓樣品,；

八、交貨與驗(yàn)收

1,、交貨

1）交貨期：合同生效后40個(gè)工作日內(nèi),。

2）交貨地點(diǎn)：免費(fèi)快遞到需方的交貨地點(diǎn)。

2、安裝與培訓(xùn)

1）我公司負(fù)責(zé)在用戶現(xiàn)場(chǎng)對(duì)設(shè)備行進(jìn)安裝和調(diào)試,；

2）在設(shè)備安裝調(diào)試時(shí)對(duì)買(mǎi)方技術(shù)人員進(jìn)行理論,、實(shí)際操作及維修等的培訓(xùn)，使用戶技術(shù)人員掌握設(shè)備操作,，能熟練使用設(shè)備進(jìn)行檢定工作,，保證設(shè)備正常運(yùn)行并能排除設(shè)備的一般故障和特殊保養(yǎng)。

3,、驗(yàn)收

1）驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：以合同及技術(shù)協(xié)議為準(zhǔn),。

2）驗(yàn)收項(xiàng)目：核對(duì)該設(shè)備的主機(jī)及附件、工具的數(shù)量及規(guī)格應(yīng)符合合同技術(shù)協(xié)議及設(shè)備使用說(shuō)明書(shū)的要求,；核對(duì)該設(shè)備的使用說(shuō)明書(shū)等各類(lèi)資料是否齊全,，是否滿足技術(shù)協(xié)議要求。

3）在合同驗(yàn)收和合同執(zhí)行過(guò)程中,，如有任何影響設(shè)備的性能的漏項(xiàng)和短缺,，如設(shè)備附件、技術(shù)資料,、使用手冊(cè),、用工具，備品備件,、服務(wù)及技術(shù)指導(dǎo)等,，我公司負(fù)責(zé)免費(fèi)將漏項(xiàng)和短缺補(bǔ)齊。

4）驗(yàn)收合格后,，雙方簽定《產(chǎn)品驗(yàn)收?qǐng)?bào)告》,。

5）產(chǎn)品外觀以實(shí)物為準(zhǔn)。

九,、售后服務(wù)

1,、設(shè)備質(zhì)保期

1）驗(yàn)收合格雙方簽定《產(chǎn)品驗(yàn)收?qǐng)?bào)告》后12個(gè)月內(nèi)；

2）在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生的故障,，其故障部分質(zhì)保期自修復(fù)之日起順延,。

2、售后服務(wù)內(nèi)容

1）質(zhì)保期內(nèi)：實(shí)行“三包",，用戶所購(gòu)設(shè)備各部件發(fā)生非人為故障,，我司免費(fèi)更換同種品牌不低于原價(jià)位、規(guī)格,、型號(hào)的部件,。

2）質(zhì)保期后：我公司提供持續(xù)的優(yōu)惠服務(wù)和技術(shù)支持，設(shè)備出現(xiàn)故障需要修理時(shí),，所換零件按成本價(jià)收取,。軟件隨國(guó)家規(guī)程變更免費(fèi)升級(jí),，硬件優(yōu)惠升級(jí)。

3）排故響應(yīng)時(shí)間：我司在接到報(bào)障信息后,，2小時(shí)內(nèi)回應(yīng),，我司通過(guò)電話、郵件的方式指導(dǎo)買(mǎi)方排除故障,；若故障仍不能排除,，將在72小時(shí)內(nèi)上門(mén)調(diào)試維修排故或用戶將儀器發(fā)回本公司維修。